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一般社団法人 日本真空学会 | 論文
- SnO2膜への不純物拡散
- Bi2O3蒸着膜の空間電荷による電導 (第27回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和61年11月12日〜14日,大阪)
- 超高真空3軸微動テ-ブルの試作と評価 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 多価イオン科学
- 電子顕微鏡における振動とその除去 (振動と防振特集)
- 低温プラズマの計測法 (特集プラズマプロセス-1-)
- 反応性マグネトロンスパッタ法によるTiN膜の作製
- 産業用真空装置の信頼性 (真空装置の信頼性特集)
- 超高真空実験のために-4-駆動機構-3-(真空技術講座)
- イオンプレ-テングのための大電流,長寿命陰極の研究
- Amorphous Transparent Conductive Electrode Films Prepared by RF Magnetron Sputterng Using H2O2 Addition Gas
- 固体表面でのイオンの散乱--弾性散乱,非弾性散乱,中性化など (イオン応用特集)
- 酸素吸着ZnSe-Au界面のXPS,ELS,AESによる研究
- .BETA.-FeSi2 Thin Films Irradiated Laser Annealing by ArF Exeimer Laser
- 地球環境保全と真空技術
- ポリシリコンの低温成長を目的とした反応性熱化学気相成長技術の開発と薄膜トランジスタへの応用
- Ｐｄ表面上でのＣＯの酸化により生成されるＣＯ２の内部状態
- レーザ溶接技術の最近の発展
- 磁界中のグロー放電におけるCO_2の解離と放電条件に関する研究
- Co-sputter法によるSb添加a-SiC:H薄膜の作製と特性 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)