Co-sputter法によるSb添加a-SiC:H薄膜の作製と特性 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 一般社団法人 日本真空学会の論文

一般社団法人 日本真空学会 | 論文

• レ-ザ-生成プラズマからの放射X線利用X線リソグラフィ-とX線顕微鏡
• 超高真空中における金属の常温圧接
• 宇宙太陽発電所SPSと関連真空技術
• 高温におけるタングステン線条と低圧の一酸化窒素との反応
• ガラスへの薄膜技術

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