超高真空3軸微動テ-ブルの試作と評価 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 一般社団法人 日本真空学会の論文

著者

• 山形 豊

  東京大学生産技術研究所

• 佐伯 宏

  総合研究大学院大学加速器科学専攻

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