接触動作を考慮したスライディングモード制御による高精度センサレス加圧制御 (産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御応用技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-09-04
著者
関連論文
- 微小変位領域における外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め
- 軸間干渉力を考慮した外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め (産業計測制御研究会 産業計測制御一般)
- 逐次適応型外乱フィードフォワード補償を併用した高速・高精度な位置決め制御
- 軸間干渉力を考慮した外乱モデルの構築と外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め
- 接触動作を考慮したスライディングモード制御による高精度センサレス加圧制御 (産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御応用技術)
- 微動領域の特性を考慮した可変フィードバック制御系によるボールねじ駆動テーブル装置の高速・高精度位置決め
- 逐次適応型外乱フィードフォワード補償を併用した高速・高精度な位置決め制御
- 軸間干渉力を考慮した外乱モデルの構築と適応型外乱フィードフォワード補償による高速・高精度位置決め
- 接触動作を考慮したスライディングモード制御による高精度センサレス加圧制御