クリーンルーム空気中の有機ガス汚染評価 (特集 クリーンルーム)

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概要

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• 日本産業機械工業会の論文

著者

• 梶間 智明

  清水建設(株)技術研究所

• 八柳 晃

  清水建設 (株) 技術研究所

• 梶間 智明

  清水建設(株)

関連論文

• 技術開発部門 スーパーナノクリーンルームの開発 (第47回[空気調和・衛生工]学会賞,第9回[空気調和・衛生工学会]特別賞"十年賞",第23回[空気調和・衛生工学会]振興賞技術振興賞,および第18回篠原記念賞) -- (第47回空気調和・衛生工学会賞技術賞受賞物件)
• 41389 低湿度ケミカルクリーンルームの性能検証(クリーンルーム性能評価,環境工学II)
• 活性炭系ケミカルフィルタの性能評価と性能向上に関する研究
• 41462 クリーンルーム用低アウトガスケーブルの開発(化学物質濃度低減化対策(2),環境工学II)
• 41419 強制暴露法によるクリーンルーム内の有機物汚染評価(クリーンルーム,環境工学II)
• クリーンルームにおける表面汚染評価方法に関する研究 : 基板表面の溶媒抽出拭取り法によるイオン性物質の評価方法(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
• 41490 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究 : その4 Si微細片への有機物質の吸着特性(クリーンルーム,環境工学II)
• 41486 活性炭系ケミカルフィルタの性能向上に関する研究(汚染の除去・制御,環境工学II)
• 41484 低アウトガス性ケーブルの開発(カビ・汚染質発生量,環境工学II)
• コンクリートから発生するアンモニアの低減化に関する研究
• 41433 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究 : その3 ガラス基板表面の汚染評価方法の検討
• 41426 活性炭素ケミカルフィルタの寿命予測方法の検討 : (その2) 酸性ガス用ケミカルフィルタの寿命予測方法
• クリーンルームにおける有機ガス汚染評価に関する研究
• 41433 活性炭系ケミカルフィルタの寿命予測方法の検討
• 41431 クリーンルーム内ガス状汚染物質の捕集方法の改良
• 41372 コンクリートからのアンモニアの発生の抑制に関する研究
• 分子汚染フリ-クリ-ンル-ム用構成材料に関する研究
• 41378 コンクリートからのアウトガスの抑制に関する研究
• 41606 既存展示室を改修したN新収蔵庫の計画と庫内環境(事務所・商業施設,環境工学II)
• 炭素系添加材によるセメント硬化体からのアンモニア発生の抑制
• 41416 美術館建築工事における空気質特性と対策(臭気・粉度・NOx,環境工学II)
• 低アウトガス性シーリング材の開発
• コンクリートから発生するアンモニアの影響とその対策
• 41365 クリーンルーム用ケミカルフィルタの構成方法に関する研究
• 41418 クリーンルームにおける表面汚染評価方法に関する研究(その2) : 溶媒抽出拭取り法によるイオン性物質評価方法の改良(クリーンルーム,環境工学II)
• 41417 クリーンルーム空気に含有される有機ガスの湿式浄化方法による除去(クリーンルーム,環境工学II)
• スーパーナノクリーンルームの開発
• 1540 低湿度クリーンルームに関する研究 : (その1)低湿度環境における内装材の静電気特性評価(内装(1),材料施工)
• 1269 固体^Si-NMRによる珪酸三カルシウムの水和反応性の検討
• 1061 X線・中性子回折によるセメント材料の結晶構造及び水和反応機構の研究
• 4218 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける粒子濃度とウエハ付着粒子数の比較
• 4217 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける気流分布の比較
• 4137 非層流型クリーンルームの設計法に関する研究(その1) : 浮遊微粒子濃度と空気清浄度について
• 41391 湿度環境とシリコンウエハ吸着水分量の関係に関する研究(クリーンルーム性能評価,環境工学II)
• 41160 赤外線水分計によるガラス基板吸着水分量評価に関する研究(室内結露防止,環境工学II)
• 41477 活性炭系ケミカルフィルタの性能向上に関する研究 (その4) : 酸性ガス及びイオン成分に対する除去性能(フィルターによる化学物質の除去, 環境工学II)
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• 41457 活性炭系ケミカルフィルタの性能向上に関する研究(その3) : PGMEA及び混合有機ガス成分に対する除去性能(化学物質濃度低減化対策(1),環境工学II)
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• 41423 クリーンルーム空気中の有機ガスの湿式除去 : その2 混合有機ガスに対する除去特性
• 41429 クリーンルーム空気中の有機ガスの湿式除去
• 41364 塩ビ内装材の有機ガス透過性について
• 41361 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究
• 41339 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価 : 第3報 内装材の有機ガスの透過速度について
• 41353 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価 : 第2報 流通法による内装材の脱ガス評価
• クリーンルーム有機物汚染用QCMセンサの表面改質による感度の向上
• 41487 過塩素酸ミストの湿式除去に関する実験と観察(化学物質汚染低減効果の評価, 環境工学II)
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• 濡面式浄化装置によるクリーンルーム内空気の浄化(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
• クリーンルーム空気に含有される水溶性有機ガスの気液分配率
• 工業用クリーンルームにおけるガス状有機化合物の湿式浄化に関する研究
• 41489 エアワッシャとケミカルフィルタの組合せによるクリーンルーム用空気の浄化(クリーンルーム,環境工学II)
• 41429 リニューアルオフィスのTVOC低減化について(濃度低域手法(1),環境工学II)
• 41407 集合住宅における室内空気質改善に関する検討 : その2 吸着剤によるホルムアルデヒド除去
• 41406 集合住宅における室内空気質改善に関する検討 : その1 換気・ベイクアウトの効果
• 新築集合住宅における揮発性化学物質の気中濃度と発生速度に関する調査
• 41307 多数室換気測定法の現場測定における誤差検討
• 41220 自然エネルギー利用・健康配慮型住宅システムに関する研究 : その2. 集合住宅の揮発性有機化合物に関する実測調査
• 集合住宅の主な内装部材からのホルムアルデヒド,揮発性有機化合物の発生速度の定量化と濃度予測に関する基礎的検討
• 集合住宅における建築的対応による揮発性有機化合物,ホルムアルデヒドの低減と濃度予測に関する検討
• 41397 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価
• 4165 空気清浄装置の金属片暴露による効果の検討
• 明治神宮宝物殿の御馬車保存ケースとその内部環境 : 環境工学
• クリーンルーム空気中の有機ガス汚染評価 (特集 クリーンルーム)
• 41427 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究 : その2 Si捕集管の吸着特性
• 41338 クリーンルームにおける揮発性有機化合物の吸着除去
• 1345 Ca_3SiO_5b固溶体の水和反応性の検討
• 室内空気浄化のためのアルカリ添着活性炭による塩化水素ガス除去に関する研究
• アルカリ添着活性炭による空気中の二酸化窒素の除去
• 41413 活性炭によるVOC除去性能
• 41412 炭化水素類の各種活性炭の吸着特性
• 4349 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その6 : 複合フィルタによる外気処理性能
• 4348 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その5 : 金属繊維フィルタの除去性能の解析
• 4332 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その4 : ウェハに吸着する有機ガスの分析と除去
• 4331 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その3 : ケミカルガス・ミスト除去用フィルタの性能評価
• コンクリ-トから発生するアルカリ物質の研究と除去対策
• 4342 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その2 : ケミカルミストの汚染対策(環境工学)
• 4341 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その1 : 有機系ガスのウェハへの影響とその汚染対策(環境工学)
• 4313 クリーンルーム用仕上材料の粒子沈着特性
• 4273 クリーンルーム用仕上材料の発塵特性
• 4462 ウェア付着粒子数と清浄度の関連 : (その2) ウェハ付着粒子数に影響する環境因子について
• 4459 クリーンルームの清浄度評価方法 : (その1) 微粒子濃度分布について
• 4455 クリーンルーム内の流れを考慮した室圧調節
• 4594 クリーンルームにおけるフィルタ性能の実証試験
• 4585 ウェハ付着粒子数と清浄度の関連 : (その1) スーパークリーンルームにおけるウェハ付着粒子数の測定方法について
• 4581 超清浄度の評価方法
• 4212 全面垂直層流式クリーンルームにおける気流・清浄度制御 : ULPAフィルタ下流の乱れと拡散巾
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• アルカリ添着活性炭による空気中の二酸化硫黄の除去
• 添着活性炭による空気中の酸性ガスの除去に関する研究
• 4164 打ちたてコンクリートから発生するアルカリ物質の除去
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• 41407 エアカーテンによる診察室の空気感染低減に関する研究(感染リスク低減(2),環境工学II,2012年度大会(東海)学術講演会・建築デザイン発表会)
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• 41370 ハイブリッド手術室向けタスククリーン空調の性能評価(オペ室・病室,環境工学II,2013 年度日本建築学会大会(北海道)学術講演会・建築デザイン発表会)
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