4585 ウェハ付着粒子数と清浄度の関連 : (その1) スーパークリーンルームにおけるウェハ付着粒子数の測定方法について
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本建築学会の論文
- 1987-08-25
著者
-
鈴木 良延
清水建設(株)設計本部
-
老川 進
清水建設(株)技術研究所
-
老川 進
清水建設(株)技術研究所 流体解析グループ
-
鈴木 良延
清水建設株式会社設計本部
-
梶間 智明
清水建設(株)技術研究所
-
鈴木 良延
清水建設 (株) 設計本部
-
鈴木 良延
清水建設(株)
-
梶間 智明
清水建設(株)
-
加瀬 隆雄
清水建設(株) 技術研究所
-
加瀬 隆雄
清水建設(株)技術研究所
関連論文
- クリーンルームシステムにおける環境負荷低減に関する研究 : 第1報-新クリーンルームシステムの提案と建設段階の環境負荷
- 技術開発部門 スーパーナノクリーンルームの開発 (第47回[空気調和・衛生工]学会賞,第9回[空気調和・衛生工学会]特別賞"十年賞",第23回[空気調和・衛生工学会]振興賞技術振興賞,および第18回篠原記念賞) -- (第47回空気調和・衛生工学会賞技術賞受賞物件)
- 41389 低湿度ケミカルクリーンルームの性能検証(クリーンルーム性能評価,環境工学II)
- 41462 クリーンルーム用低アウトガスケーブルの開発(化学物質濃度低減化対策(2),環境工学II)
- クリーンルームにおける表面汚染評価方法に関する研究 : 基板表面の溶媒抽出拭取り法によるイオン性物質の評価方法(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
- 41486 活性炭系ケミカルフィルタの性能向上に関する研究(汚染の除去・制御,環境工学II)
- 41484 低アウトガス性ケーブルの開発(カビ・汚染質発生量,環境工学II)
- コンクリートから発生するアンモニアの低減化に関する研究
- 41433 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究 : その3 ガラス基板表面の汚染評価方法の検討
- 41426 活性炭素ケミカルフィルタの寿命予測方法の検討 : (その2) 酸性ガス用ケミカルフィルタの寿命予測方法
- 41383 低アウトガス施工方法の検討
- 41433 活性炭系ケミカルフィルタの寿命予測方法の検討
- 41431 クリーンルーム内ガス状汚染物質の捕集方法の改良
- 41372 コンクリートからのアンモニアの発生の抑制に関する研究
- 分子汚染フリ-クリ-ンル-ム用構成材料に関する研究
- 41378 コンクリートからのアウトガスの抑制に関する研究
- 低アウトガス性シーリング材の開発
- 41365 クリーンルーム用ケミカルフィルタの構成方法に関する研究
- 41393 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その2. アンビエントクリーン空調システム開発に関する実証実験(クリーンルーム気流制御,環境工学II)
- 41392 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その1. アンビエントクリーン空調システム(クリーンルーム気流制御,環境工学II)
- 41418 クリーンルームにおける表面汚染評価方法に関する研究(その2) : 溶媒抽出拭取り法によるイオン性物質評価方法の改良(クリーンルーム,環境工学II)
- スーパーナノクリーンルームの開発
- 41516 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その5. 建設段階の環境負荷低減(タスク・アンビエント空調(3),環境工学II)
- 41515 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その4. タスククリーン空調システム(タスク・アンビエント空調(3),環境工学II)
- 41389 中性能フィルタメディアに捕集された海塩粒子の再飛散評価(クリーンルーム,環境工学II)
- クリーンルームシステムにおける環境負荷低減に関する研究 : 第2報-ライフサイクルにおけるCO_2排出量
- 5312 超高層オフィスビルにおける建物全体評価構造 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その9
- 5311 超高層オフィスビルにおける室内空間評価構造 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その8
- 5310 超高層テナントオフィスビルにおける施設要求 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その7
- 5415 超高層テナントオフィスビルにおける周辺環境意識 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その6
- 5414 超高層テナントオフィスビルにおける移動行動意識 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その5
- 5413 超高層テナントオフィスビルにおける居住環境評価 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その4
- 41356 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その7. クリーン空調システムの清浄度特性に関する性能比較実験(クリーンルーム,環境工学II)
- 41355 「タスク&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その6. クリーン空調システムの気流および温度分布に関する性能比較実験(クリーンルーム,環境工学II)
- 超高層オフィスビルの建築計画的特性とその類型化 : 超々高層ビルの空間計画に関する基礎的研究 その1
- クリーンルームシステムにおける環境負荷低減に関する研究 : 第1報-新クリーンルームシステムの提案と建設段階の環境負荷
- 40398 低圧低酸素環境が意識水準におよぼす影響
- 4218 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける粒子濃度とウエハ付着粒子数の比較
- 4217 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける気流分布の比較
- 4137 非層流型クリーンルームの設計法に関する研究(その1) : 浮遊微粒子濃度と空気清浄度について
- 41457 濡面式空気清浄装置のガス状有機化合物処理特性に関する研究(空気汚染物質の挙動解析および測定法, 環境工学II)
- 41423 クリーンルーム空気中の有機ガスの湿式除去 : その2 混合有機ガスに対する除去特性
- 41429 クリーンルーム空気中の有機ガスの湿式除去
- 41364 塩ビ内装材の有機ガス透過性について
- 41361 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究
- 41339 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価 : 第3報 内装材の有機ガスの透過速度について
- 41353 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価 : 第2報 流通法による内装材の脱ガス評価
- 4212 地球環境保全の視点からの都市の評価 : その5. 生物共生指標による評価
- 4211 地球環境保全の視点からの都市の評価 : その4. 生活者の「満足度」による評価
- 4210 地球環境保全の視点からの都市の評価 : その3. 生産額による評価
- 4209 地球環境保全の視点からの都市の評価 : その2. CO_2排出量による評価
- 4208 地球環境保全の視点からの都市の評価 : その1. 評価の考え方と廃棄物排出量による評価
- 41394 「タクス&アンビエント」クリーン空調に関する研究 : その3. FCU吹出しFFU吸込みによる気流受渡し率(クリーンルーム気流制御,環境工学II)
- 41487 過塩素酸ミストの湿式除去に関する実験と観察(化学物質汚染低減効果の評価, 環境工学II)
- 41428 純水を用いたインピンジャーによるNOx測定について(NOx・粒子・臭気汚染,環境工学II)
- 濡面式浄化装置によるクリーンルーム内空気の浄化(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
- 41489 エアワッシャとケミカルフィルタの組合せによるクリーンルーム用空気の浄化(クリーンルーム,環境工学II)
- 低気圧低酸素環境がヒトに及ぼす生理・心理的影響に関する文献研究 : 生理人類学会第32回大会
- 41002 実存超高速エレベーターにおける耳づまり反応 : その5 聴器機能検査と昇降基準の考察
- エレベータ移動における耳閉感・めまい等の生理心理的影響に関する研究
- 4496 超高層エレベータ移動における生理心理的問題の検討 : その4 エレベータ内の電気生理計測と環境改善
- 4495 超高層エレベータ移動における生理心理的問題の検討 : その3 耳詰まりとめまいの生理心理的検討
- 4494 超高層エレベータ移動における生理心理的問題の検討 : その2 エレベータかご内の気圧等の計測
- 4171 制御室の環境評価に関する研究 : その3 総合的な環境評価法の検討
- 4170 制御室の環境評価に関する研究 : その2 運転員被験者による環境可変実験
- 事務所ビルの空気浄化計画(その3) : (3) 浄化後の居室内空気環境 : 環境工学
- 印刷工場における有機溶剤排出防止対策 II : 印刷機から発生する有機溶剤の拡散防止
- スタックレイン処理装置の開発研究 : その2 溢汪限界流速と処理装置 : 環境工学
- スタックレイン処理装置の開発研究 : その1 測定法の検討
- 5533 超高層オフィスビルにおける居住環境の影響因子 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究 その1
- 41397 クリーンルーム内装材からのアウトガス評価
- 4308 クリーンルームの性能評価のための検討 : その2 気流分布及び清浄化能力
- 4165 空気清浄装置の金属片暴露による効果の検討
- 4145 クリンルーム用衣服着衣者からの発塵について : 発塵機構と発塵量
- 4143 クリーンルーム用エアシャワーの効果について
- 明治神宮宝物殿の御馬車保存ケースとその内部環境 : 環境工学
- クリーンルームの空気清浄度の性能評価と品質管理(環境工学)
- 4337 クリーンストッカーの空気清浄度性能評価
- 4314 HEPAフィルタの性能測定方法の検討
- 41427 クリーンルームの有機ガス汚染評価に関する研究 : その2 Si捕集管の吸着特性
- 41338 クリーンルームにおける揮発性有機化合物の吸着除去
- 18 超高層のテナントオフィスビルにおける空間評価構造 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究(建築計画)
- 室内空気浄化のためのアルカリ添着活性炭による塩化水素ガス除去に関する研究
- アルカリ添着活性炭による空気中の二酸化窒素の除去
- 41413 活性炭によるVOC除去性能
- 41412 炭化水素類の各種活性炭の吸着特性
- 4349 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その6 : 複合フィルタによる外気処理性能
- 4348 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その5 : 金属繊維フィルタの除去性能の解析
- 4332 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その4 : ウェハに吸着する有機ガスの分析と除去
- 4331 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その3 : ケミカルガス・ミスト除去用フィルタの性能評価
- 4342 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その2 : ケミカルミストの汚染対策(環境工学)
- 4341 クリーンルームにおけるガス・ケミカルイオンの汚染対策 : その1 : 有機系ガスのウェハへの影響とその汚染対策(環境工学)
- 4313 クリーンルーム用仕上材料の粒子沈着特性
- 4273 クリーンルーム用仕上材料の発塵特性
- 4462 ウェア付着粒子数と清浄度の関連 : (その2) ウェハ付着粒子数に影響する環境因子について
- 4459 クリーンルームの清浄度評価方法 : (その1) 微粒子濃度分布について
- 4455 クリーンルーム内の流れを考慮した室圧調節
- 4594 クリーンルームにおけるフィルタ性能の実証試験
- 5535 超高層オフィスビルにおける移動行動意識と周辺環境意識 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その3
- 5534 超高層オフィスビルにおける居住環境評価 : 超々高層ビルの居住環境に関する基礎的研究・その2