技術開発部門 スーパーナノクリーンルームの開発 (第47回[空気調和・衛生工]学会賞,第9回[空気調和・衛生工学会]特別賞"十年賞",第23回[空気調和・衛生工学会]振興賞技術振興賞,および第18回篠原記念賞) -- (第47回空気調和・衛生工学会賞技術賞受賞物件)

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