半導体の超拡散のアルゴリズムアニメーション
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概要
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電子線照射による超拡散がコンピユータグラフイックスによりモデル化されてアニメーション化された。拡散の3つの主な素過程は次のように与えられる。基板の上の不純物層からのはじき出し原子の格子間拡散、界面での不純物原子の表面拡散、基板内部への体積拡散である。アルゴリズムアニメーションは超拡散の連続的な表示を実現し、それは実験結果と良い一致を示し、超拡散プロセスの理解を助ける。
著者
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