半導体超拡散のヒューマンインターフェース

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概要

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半導体基板の上に不純物シートをのせた2層構造に対して電子線照射だけを利用した超拡散メカニズムを視覚化するためにコンピューターグラッフィク技術により超拡散をアニメーション化した。アニメーションでは拡散の3つの主要なプロセスが含まれている。(1)格子間拡散(2)表面拡散(3)体積拡散実験結果で示された半導体基板表面の不純物原子の高い表面付着確率はモデル化されており、アニメーションにおいて、予想される全ダイナミック過程が観察される。これらのアニメーションのプログラミングはオブジェクトモデルテクノロジーを使用した。アルゴリズムアニメーションは実験での観察と一致しており、超拡散の継続的な動的表示を生成し、超拡散の理解を容易にする。
2005-03-18

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