シリコンモールディング法による3次元マイクロ構造体の作製と微小電気機械システムへの応用 (特集 3次元マイクロ構造の創製と応用)
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概要
著者
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渡辺 龍三
東北職業能力開発大学校附属青森職業能力開発短期大学校
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渡辺 龍三
東北大学大学院工学研究科
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李 敬鋒
東北大学工学研究科材料加工プロセス学専攻
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李 敬鋒
東北大学工学部材料加工学科
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Li Jing-feng
Department Of Materials Processing Graduate School Of Engineering Tohoku University
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Li Jing-feng
Statekey Laboratory Of New Ceramics And Fine Processing Department Of Materials Science And Engineer
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