3次元実装に用いるチップ貫通電極形成技術 (特集 部品加工技術:より高く・より広く・より深く・より速く)

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概要

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• デンソ-の論文

著者

• 星野 雅孝

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset):(現)spansion Japan株式会社

• 富坂 学

  超先端電子技術開発機構

• 米村 均

  超先端電子技術開発機構 筑波研セ

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