TDEATを用いたMOCVD-TiN膜の成膜における微量NH3添加の効果

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概要

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著者

• 鈴木 薫

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

• 肖 石琴

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

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