ラマン散乱分光法によるSiCの積層欠陥の評価 (特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術) -- (デバイスプロセスと特性評価)

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概要

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著者

• 中島 信一

  産総研

• 中島 信一

  産技総研

• 中島 信一

  阪大・工

• 播磨 弘

  京都工芸繊維大学学芸学部電子情報工学科

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