プラズマCVD法によるTiN被覆層の硬度におよぼす含有Cl量の影響

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概要

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• 表面技術協会の論文

著者

• 藤田 浩紀

  株式会社豊田中央研究所

• 新井 透

  (株)豊田中央研究所

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