走査型振動プローブを用いた変位電流とトンネル電流の同時測定(TSM)における電流波形の解析
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概要
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- 電子情報通信学会の論文
- 1999-11-26
著者
-
奥田 敦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院 理工学研究科 電子物理工学専攻
-
上原 摂理
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
増田 朋彦
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
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