アンダ-サイズ法によるサブクォ-タ-ミクロンのホ-ルパタ-ン形成 (VLSI<特集>) -- (プロセス技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 沖電気工業沖時報編集委員会の論文

著者

• 宮川 康陽

  沖電気工業

関連論文

• 酸化膜エッチングメカニズムの解析 (VLSI) -- (プロセス技術)
• フルオロカーボンECRプラズマにおけるエッチング特性経時変化の解析
• アンダ-サイズ法によるサブクォ-タ-ミクロンのホ-ルパタ-ン形成 (VLSI) -- (プロセス技術)
• 樹脂コーティングによるアンダーサイズを用いた0.2μmレベルホールパターン形成の検討

スポンサーリンク