宮川 康陽 | 沖電気工業
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概要
関連著者
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宮川 康陽
沖電気工業
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宮川 康陽
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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金森 順
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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金森 順
沖電気工業
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松井 孝行
沖電気工業
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下山 浩平
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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山内 孝裕
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
著作論文
- 酸化膜エッチングメカニズムの解析 (VLSI) -- (プロセス技術)
- フルオロカーボンECRプラズマにおけるエッチング特性経時変化の解析
- アンダ-サイズ法によるサブクォ-タ-ミクロンのホ-ルパタ-ン形成 (VLSI) -- (プロセス技術)
- 樹脂コーティングによるアンダーサイズを用いた0.2μmレベルホールパターン形成の検討