フルオロカーボンECRプラズマにおけるエッチング特性経時変化の解析
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概要
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ECRプラズマは低圧力域での放電ウィンドウが広く、今後のディープサブミクロン領域のコンタクトホールエッチングの有望なプラズマ源の1つである。しかし、その実用化については、エッチング特性の経時変化を抑えることが大きな課題であった。今回、Al製エッチングチャンバー内壁,およびSiウエハ上に堆積したフルオロカーボン(CF_x)膜の熱分析から、この経時変化がチャンバー内壁から脱離するフルオロカーボン化学種に起因することがわかった。経時変化を抑制するには、エッチング電極温度を高く設定すること,およびRFバイアスを高く設定すること,の2点が有効であることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-08-17
著者
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