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ディ-プサブミクロン領域におけるプロセスマ-ジンの最適化の一手法 (VLSI<特集>) -- (設計およびCAD技術)
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概要
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著者
大平 茂晴
沖電気工業(株) 電子デバイス事業本部
馬場 俊祐
超LSI研究開発センタ
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