酸化タンタル膜キャパシタに適した上部電極材料の検討

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概要

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• 沖電気工業沖時報編集委員会の論文

著者

• 西川 哲

  沖電気工業(株)半導体技術研究所

• 松橋 秀明

  沖電気工業(株)研究開発本部半導体技術研究所

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