CVD法による高誘電率キャパシタ形成技術 (特集"半導体") -- (基盤技術)

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概要

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• 三菱電機エンジニアリングの論文

著者

• 川原 孝昭

  三菱電機

• 山向 幹雄

  三菱電機

• 堀川 剛

  三菱電機 先端技総研

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