連続搬送型HGMSに関する基礎的研究--原理と粒子の移動速度-1-

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 資源・素材学会の論文

著者

• 木藤良 善久

  三菱電機(株)中央研究所

関連論文

• スクロール真空ポンプの研究
• ターボ分子ポンプの排気特性に関する研究 : 第2報, 多段翼列の排気特性解析
• ターボ分子ポンプの排気特性に関する研究 : 第1報,有限翼高翼列の排気特性
• 連続搬送型HGMSに関する基礎的研究--堆積層の形状と移動速度-2-
• 連続搬送型HGMSに関する基礎的研究--原理と粒子の移動速度-1-

スポンサーリンク