スクロール真空ポンプの研究

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概要

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• Scroll machines have very good sealing characteristics, and the authors have attempted to develop a scroll vacuum pump. A rotating mechanism was employed instead of an orbiting mechanism from the point of view of load pattern and mechanical simplification. The axial and the radial sealing techniques were utilized. The radial sealing mechanism is particularly easy and effective due to the stationary seal line. A spiral with zero top clearance volume and a compact Oldham coupling were the other key technologies. Vacuums of 1 Pa (10^<-2> Torr) for dry operation, and of 10^<-2> Pa (10^<-4> Torr) for oil flooded operation were achieved at 1 800 rpm.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 1988-02-25

著者

• 菅波 拓也

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 森下 悦生

  三菱電機(株)中央研究所:(現)東京大学工学部

• 菅波 拓也

  三菱電機

• 菅波 拓也

  三菱電機(株)

• 西田 光博

  三菱電機(株)福岡製作所

• 木藤良 善久

  三菱電機(株)中央研究所

• 山本 作衛

  三菱電機(株)福岡製作所

• 藤井 好三郎

  三菱電機(株)福岡製作所

• 森下 悦生

  三菱電機(株)中央研究所(現)東京大学工学部

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