管状反応器内におけるTiN膜の化学気相析出速度

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 菊池 淳

  東北大学大学院環境科学研究科

• 菊池 淳

  東北大学工学部

• 吉川 昇

  東北大学大学院環境科学研究科

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