1F17 熱 CVD プロセスにおける磁場印加の影響

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概要

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• 2002-09-22

著者

• 渡辺 和雄

  東北大金研強磁場セ

• 淡路 智

  東北大金研

• 谷口 尚司

  東北大工

• 吉川 昇

  東北大工

• 吉川 昇

  東北大学大学院環境科学研究科

• 遠藤 隆智

  東北大大学院

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