高分子隔膜を有する電子線励起プラズマプロセス装置の作製

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気学会の論文

著者

• 稲浪 良市

  名古屋大学先端技術共同研究センター

関連論文

• ポリイミド隔膜透過電子線励起ICPによる100nm超微細加工
• 電子線透過膜用ポリイミド超薄膜の作製
• 垂直照射SR光励起によるSiウェーハのCF_4プラズマエッチング
• 高分子隔膜透過電子線励起プラズマによるサブミクロンエッチング加工
• 高分子隔膜を有する電子線励起プラズマプロセス装置の作製

スポンサーリンク