稲浪 良市 | 名古屋大学先端技術共同研究センター
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概要
関連著者
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稲浪 良市
名古屋大学先端技術共同研究センター
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森田 慎三
名古屋大学工学研究科
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森田 慎三
名古屋大学工学部電気電子電子情報工学科
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森田 慎三
名古屋大学
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森田 慎三
名古屋大学工学部
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山田 智也
名古屋大学先端技術共同研究センター
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山田 智也
名古屋大学 工学部
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小川 慎司
名古屋大学工学部電気電子電子情報工学科
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内田 稔人
名古屋大学 先端技術共同研究センター
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邵 春林
名古屋大学先端技術共同研究センター
著作論文
- ポリイミド隔膜透過電子線励起ICPによる100nm超微細加工
- 電子線透過膜用ポリイミド超薄膜の作製
- 垂直照射SR光励起によるSiウェーハのCF_4プラズマエッチング
- 高分子隔膜透過電子線励起プラズマによるサブミクロンエッチング加工
- 高分子隔膜を有する電子線励起プラズマプロセス装置の作製