HB法による50mmφ低転位密度半絶縁性GaAsの開発
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概要
著者
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藤田 慶一郎
住電半導体材料株式会社
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藤田 慶一郎
住友電気工業(株):住電半導体材料(株):(現)独立行政法人科学技術振興機構jstイノベーションプラザ宮城
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藤田 慶一郎
住友電気工業(株)
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藤田 慶一郎
住電半導体材料(株)
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