超LSIとプラズマ,ビ-ムプロセス (ビ-ムとプラズマの化学<特集テ-マ>)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本化学会の論文

著者

• 堀池 靖浩

  (株)東芝

• 堀池 靖浩

  東大院工

• 堀池 靖浩

  東芝超lsi研:現広大工

• 堀池 靖浩

  東洋大学工学部電気電子工学科

• 堀池 靖浩

  極端紫外線露光システム技術開発機構(euva)

関連論文

• 27a-P-7 UHV-STMによるSi清浄表面の観察
• カーボンナノチューブ・C_で作製した複合冷陰極の電界電子放出特性
• カーボンナノチューブの欠陥構造とその電子物性
• 18pYF-11 マイクロ・ナノチップ中における長鎖DNAのダイナミクスの解析
• 3a-TA-11 超高分解能X線非弾性散乱 II. : 結晶ベンダー
• 409 数値制御局所ドライエッチングによる Si ウェーハ平坦化
• SF_6ダウンストリームプラズマを利用した数値制御局所ドライエッチング(NC-LDE)の加工特性
• 数値制御ドライ平坦化におけるナノトポグラフィー
• Fラジカルを利用したシリコンウェーハドライ平坦化装置の開発
• SF_6プラズマによるシリコンウェーハの超精密加工
• 1122 Cell-Based Biosensor (CBB) を目指した肝スフェロイドの規則的配列構造(肝スフェロイド・マイクロアレイ)の構築
• 無痛針用Niフリーステンレス鋼細管の機械的特性(第1回論文特集号)
• 紫外線励起シリコンドライエッチング
• VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用
• SSDM2000国際会議報告
• EUVリソグラフィ開発の技術戦略
• 応物屋にとりバイオ研究へのハードルは高くない
• ビーム誘起シリコンLSIプロセス
• ULSIエッチング - 新しい化学反応の宝庫 -
• 超LSIとプラズマ,ビ-ムプロセス (ビ-ムとプラズマの化学)
• 反応性ドライエッチングと表面反応化学(表面と化学反応)
• 高アスペクト比構造の微細加工技術(次世代リソグラフィ技術)
• デバイスプロセス (プラズマとその応用) -- (プラズマの応用)
• 各種ドライエッチング装置と加工特性 : 高速反応性イオンエッチング(半導体素子 : 材料とプロセス技術)
• LSI製造におけるドライエッチング技術の動向
• 半導体用エッチング技術--ドライエッチング技術を中心として (先端技術における表面処理)
• 10)1024画素CCDリニアセンサ(テレビジョン電子装置研究会(第67回) 画像表示研究会(第23回) 同合)
• 2-9 CCDアナログ遅延線の特性評価
• 3-9 CCDによるビデオ信号遅延線
• 72-450 電界効果を加えたバイポーラトランジスタ(高感度光センサー) : R.A.Nordstrom, James D.Meindl : The Field-Effect Transistor;A High-Responsivity Photosensor, IEEE Transactions of Solid State Circuits, Vol.SC-7,No.5,Oct., (1972), 411-417
• ケミカルドライプロセス技術
• JJAPだより 国際学術誌としてのJJAP:応用物理学会会員への協力と支援のお願い
• 超LSIプロセスと表面処理技術-後-
• 超LSIプロセスと表面処理技術-前-
• ポリマーチューブ内壁の大気圧プラズマ処理 : ポリ四フッ化エチレンチューブでの結果
• LSI製造へのドライエッチング技術 (ドライな表面処理)
• テクノロマン・インタビュー 極微量の血液で健康診断「ヘルスケアチップ」--堀池靖浩氏・東京大学大学院工学系研究科材料学専攻教授
• ULSI新機能材料エッチングの現状と展望
• キャピラリ法によるコンタクト孔底の観察 (特集:微細構造内の分析・観察技術)
• 半導体プラズマプロセスにおける真空環境管理〔含 英文〕
• ナノバイオ若手育成に熱い坩堝の共用施設を全国に展開を
• 24pYC-11 ナノチャネル中を電気泳動する長鎖DNAのダイナミクス(24pYC 筋肉・分子モーターのダイナミクス,領域12(高分子・液晶,化学物理,生物物理分野))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク