1I21 大気圧 CVD 法によって低温度基板上に形成された酸化物膜

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1998-10-01

著者

• 大塩 茂夫

  長岡技術科学大学化学系

• 斎藤 秀俊

  長岡技術科学大学

• 田中 教雄

  長岡技術科学大学化学系

• 高山 浩一

  長岡技術科学大学

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