1A20 AlN セラミクスと薄膜導体の接合におよぼす熱処理の効果

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1991-05-22

著者

• 山川 晃司

  (株)東芝研究開発センター材料・デバイス研究所

• 安本 恭章

  東芝総研

• 山川 晃司

  東芝総研

• 岩瀬 暢男

  東芝総研

• 篠沢 法子

  東芝材応研

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