酸素イオン照射時の二次イオン生成過程について
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概要
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A simple physical model is proposed for the process of positive ion emission during oxygen ion bombardment of a solid sample. The incident ions are assumed to develop the oxygen enhanced layer at the surface of target and give rise to the emission of diatomic molecules.These clusters of atoms tend to dissociate into atoms and/or emit electrons produce atomic and molecular ions during the process of sputtering.Expressions are given for the relative intensities of ions and are compared successfully with experimental data.
- 日本質量分析学会の論文
著者
-
鈴木 敏子
川崎製鉄(株)分析物性研究センター
-
大橋 善治
川崎製鉄(株)技術研究所
-
角山 浩三
川崎製鉄(株)分析・物性研究センター
-
角山 浩三
川崎製鉄株式会社技術研究所 薄板研究部門
-
角山 浩三
川崎製鉄(株)技術研究所
-
鈴木 敏子
川崎製鉄(株)技術研究所
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