マイクロ波プラズマ法によるダイヤモンドの気相合成
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概要
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This paper reviews diamond deposition from the gas phase by microwave plasma CVD. Apparatus for diamond synthesis using microwave plasma are shown. Effects of synthetic conditions such as carbon concentration in the gas phase, substrate and substrate temperature are discussed with respect to the structural fcatures and some properties of diamond perpared from the gas phase.The results indicate that quality of the diamond depends on the synthetic conditions. It is shown that high quality diamond similar to natural type lla diamond is able to be produced under optimum conditions.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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