気相合成ダイヤモンド : 合成と評価
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概要
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This paper reports outline of diamond synthesis from gas phase and some properties of diamond prepared by the microwave plasma method which have been studied using Raman, absorption and cathodoluminescence spectroscopies, and secondary ion mass spectroscopy (SIMS) analysis. It has been shown that single crystals have good crystalline quality. In contrast, the polycrystalline films grown under the same conditions have appreciable amounts of double bonds and strain. SIMS analyses have indicated that contamination by elements of substrate holder cannot be neglected for the diamond obtained, that contents of hydrogen and oxygen are negligible small, that other impurities with concentration highor than that in natural diamond are not detected.
- 宝石学会(日本)の論文
- 1992-12-15
著者
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