プロセシング・プラズマにおける衝突素過程およびシミュレ-ション (広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-3-)
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概要
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Elementary collision processes and computer simulation techniques relevant to non-equilibrium processing plasmas are described and examples of latest research are presented.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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