気相合成ダイヤモンドのカソードルミネッセンスによる評価
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概要
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An tentative evaluation was made by cathodoluminescence for diamond films deposited by microwave plasma CVD.The diamond was prepared from source gases of either H2+CH4 or H2+CO. Results obtained by CL analysis were compared with those by XRD, Raman spectroscopy and SE microscopy, and CL turned out to be a very effective technique for evaluating crystallinity of diamonds-both CVD-deposited and natural.
- 社団法人 表面技術協会の論文
著者
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陳 家富
明道大学
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黄 燕清
東海大学工学部金属材料工学科
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西村 一仁
大阪ダイヤモンド工業
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細見 暁
(株) 石塚研究所
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陳 家富
中華民国国立交通大学機械工学系
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陳 家富
中華民国国立交通大学機械工程系
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黄 燕清
東海大学工学部
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西村 一仁
大阪ダイヤモンド工業 (株)
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