CVDによる薄膜および微粒子生成の制御に関する実験的検討
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概要
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層流エアロゾル反応器 (LFAR) でのチタンテトライソプロポキシド (TTIP) 蒸気の熱分解による酸化チタン薄膜および微粒子の生成の制御が実験的に検討された.TTIP蒸気およびヘリウムガスの混合ガスが加熱された管に層流で導入され, 種々のTTIP蒸気の濃度, 反応器温度, 操作圧力下で管壁上に形成された薄膜および沈着微粒子が電子顕微鏡によって観察された.実験結果より, 操作条件による微粒子および薄膜の様子が明らかにされ, 微粒子の発生は, TTIP蒸気の濃度が高くなるほど, 反応温度が高くなるほど, および操作圧力が高くなるほど顕著となった.また, 薄膜の生成は, より減圧の条件下で顕著となった.これらの実験結果の傾向は, 微粒子の生成が簡略化反応凝集モデルで評価されたエアロゾルの動力学的方程式の数値計算結果の傾向と良く一致した.
著者
-
向阪 保雄
大阪府立大学
-
大島 賢太郎
花王(株)生産技術開発研究所
-
傳 慶一
花王 (株) 生産技術研究所
-
大島 賢太郎
花王 (株) 基礎科学研究所
-
鳥本 善章
花王 (株) 基礎科学研究室
-
奥山 喜久夫
大阪府立大学工学部 化学工学科
-
牛尾 隆一
大阪府立大学工学部 化学工学科
-
傳 慶一
花王 (株) 基礎科学研究室
-
大島 賢太郎
花王 (株) 基礎科学研究室
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