凍結法による平板上に付着した微粒子の除去
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概要
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固体表面に付着した微粒子の新しい除去方法として液体の凍結・融解を利用した方法について検討を試みた.すなわち, 微粒子の付着した基板を凍結液 (界面活性剤を添加した超純水およびメチルアルコール) 中に浸漬してそれを液体窒素で凍結し, 次にそれを解凍・洗浄することによって微粒子を除去する方法について実験的に検討を行った.その結果, 基板および粒子と濡れ性のよい凍結液を用いた場合に基板 (シリコンウエハおよびスライドグラス) 上に付着させたサブミクロン粒子を効果的に除去できることがわかった.実験結果から粒子除去の機構を考察したが, その主なものは, 凍結が進む前面での粒子の押しのけ効果 (一種のコアセルベーション) および凍結後の凍結液と基板との熱膨張差などが関与していることが推察された.
著者
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向阪 保雄
大阪府立大学工学部化学工学科
-
堀内 貴洋
大阪府立大学工学部化学工学科
-
向阪 保雄
大阪府立大学
-
新居田 亨
大阪府立大学工学部化学工学科
-
遠藤 〓行
大阪府立大学工学部 化学工学科
-
堀内 貴洋
大阪府立大学工学部 化学工学科
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