ターボ分子ポンプのH<SUB>2</SUB>に対する性能
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- ターボ分子ポンプの性能試験方法に関する標準化の現状
- 複合分子ポンプの開発
- 新型分子ポンプの開発 (I)
- アブストラクト
- アブストラクト
- 磁気軸受制御型複合分子ポンプ (特集 半導体製造プロセスを支える周辺技術の最新動向)
- 分子ポンプの排気口を閉じた時の残留ガス分析(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 放射熱によるTMPロ-タの温度上昇(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ
- 新型分子ポンプの開発 (II)
- ターボ分子ポンプのH2に対する性能
- ターボ分子ポンプの受ける磁場の影響
- 遠心式高真空蒸留装置
- 種々の気体に対する複合分子ポンプの排気特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 分子ポンプの排気口を閉じた時の残留ガス分析(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 放射熱によるTMPロ-タの温度上昇(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)