種々の気体に対する複合分子ポンプの排気特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
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概要
著者
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井口 昌司
(株) 大阪真空機器製作所
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橋本 祥一
(株) 大阪真空機器製作所
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金戸 成
(株) 大阪真空機器製作所
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及川 永
(株) 大阪真空機器製作所
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池上 達治
(株) 大阪真空機器製作所
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丸山 隆志
(株) 大阪真空機器製作所
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原口 孝之
(株) 大阪真空機器製作所
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