大面積イオンプレ-ティングのための高能率シ-トプラズマ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A simple method for producing a sheet plasma with a large width and thin thickness is discribed, in which two rectangular permanent magnets are arranged on both sides of a cylindrical plasma along a magnetic field. Using the sheet plasma for ion plating, we can collect an ion current of high density for a large area in a very high gas and power efficiency.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- 2a-J-3 α粒子計測用ヘリウム負イオン源
- 13a-DH-7 準定常大電流電子ビーム源
- Ring Currentの形成 II : 核融合
- 6p-H-2 廻転プラズマ"火の車"III,IV
- 回転プラズマ : 火の車 : XXX. 核融合
- Electron Beamの形成とプラズマの閉じ込め : 核融合
- 3p-CD-5 大電流負イオン源のためのシートプラズマ
- 2p-D-10 イオンビームソースに於る電子温度の効果
- 2p-D-7 マルチ化した冷L_aB_6型大直径イオン源
- 4a-P-6 冷LaB_6陰極からの早い大電流放電開始法
- 2p-D-1 LaB_6カソードプラズマ源
- 31p-Y-1 定常電子ビーム励起によるHeプラズマの生成
- 15H-1 プラズマベータートロン
- 4p-H-9 シートプラズマ型H^-,D^-イオン源の発展I
- 3p-RC-9 シートプラズマによる大面積H^-,D^-イオン源
- 13p-DH-10 シートプラズマによるH^-,D^-イオン源
- プラズマを通過する電子ビームのエネルギー損失 : プラズマ物理
- 高能率シートプラズマ型空間生成H-, D-イオン源における電子ビーム効果
- シートプラズマによる陽子加速器と熱核融合反応研究のための空間生成H-, D-イオン源 (II)
- シートプラズマによる陽子加速器と熱核融合反応研究のための空間生成H-, D-イオン源 (I)
- シートプラズマによるH-, D-イオン電流の測定法と確認
- 放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点
- 空間生成H-, D-イオン源としてのシートプラズマとマルチカスププラズマの物理的相違
- シートプラズマによるH-, D-イオンの空間生成における真空容器の影響
- 進展したシートプラズマ生成法
- イオンプレーティングのための放電プラズマ流の曲げ方
- シートプラズマによる大電流H-, D-イオン源の研究 (II)
- シートプラズマによる大電流H-, D-イオン源の研究 (I)
- 高融点金属イオンプレーティングのための電子加速型プラズマ
- イオンプレーティングのための曲面シートプラズマ
- 高周波深針法による衝突周波数の測定 : プラズマ物理
- 5p-R-12 イオン逆流型高温高密度プラズマ
- 6a-H-13 プラズマからの定常大電流密度電子流の抽出
- 11p-P-4 磁場中,中和電子流の異常散乱
- 6p-KT-10 境界から励起された大振巾の径方向拡散波
- 境界條件と異常拡散 : プラズマ物理
- 3a-S-3 拡散の境界条件
- 拡散の局所的増大 : プラズマ物理
- TP-Dプラズマの構造II : プラズマ物理
- 大面積イオンプレ-ティングのための高能率シ-トプラズマ
- 大体積イオンプレ-ティングのための大直径プラズマ
- 真空冶金のための加速型プラズマ電子ビ-ム