イオンプレーティングのための曲面シートプラズマ
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概要
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A simple method for producing curved sheet plasma (with large width and thin thickness) is described, in which two different shapes of permanent magnets are arranged on both sides of a cylindrical plasma column along a magnetic field. Using the curved sheet plasmas for ion plating of curved large surfaces, we can collect an ion current of high density in a very high power and gas efficiency.
- 日本真空協会の論文
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