マグネトロンスパッタ法による光記録用Ag-Zn合金薄膜の作製
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概要
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Thin film of Ag-Zn (about 50 at%Zn) binary alloy exhibits reversible color change between silver and pink depending on the thermal history of the film. The films can be used for optical recording with laser beam. We made characterization of the thin films prepared by magnetron sputtering with a two-component target of Ag and Zn sheets. The color strongly depended both on the composition and the crystal structure of the film deposited on the substrate at room temperature. The appearance of pink color occurred in the region of Zn composition between 46 and 58 at%. The large film area with pink color can be made by the reciprocating motion of substrate above the sputtering apparatus.
著者
-
西守 克己
鳥取大 大学院
-
徳高 平蔵
鳥取大学電気電子工学科
-
西守 克巳
鳥取大学電子工学科
-
村尾 寿昭
鳥取大学電子工学科
-
石原 永伯
鳥取大学電子工学科
-
岡本 尚機
鳥取大学生産機械工学科
-
岡 宗雄
鳥取大学生産機械工学科
-
徳高 平蔵
鳥取大学電子工学科
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