スパッター法によるZrO<SUB>2</SUB>-Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>簿膜の合成
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概要
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ZrO<SUB>2</SUB>-Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> solid solution films were produced by a rf-co-sputtering method. The single monoclinic and tetragonal phase appeared for <0.2 mol% and >3.6 mol% (Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>+Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>), respectively. On the other hand, the monoclinic and tetragonal mixed phase with the same (Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>+Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>) content appeared for 0.2-3.6 mol% (Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>+Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>). The single monoclinic and tetragonal phase were stable during the aging at temperature between 673-1473 K in air. In the mixed phase films, the tetragonal phase transformed isothermally to the monoclinic phase without the (Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>+Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>) content change during the aging at temperature between 1073-1473 K in air.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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