Microscopic and Macroscopic Simulation of Ultra-Short-Pulse Laser Processing by CIP Method

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概要

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• We performed 1.5-dimensional simulation of the Fokker-Planck equation using the CIP method to investigate femto-second-laser heating processes. We found that the heat flux in the solid part approaches a classical thermal conduction theory like the Spitzer-Härm theory on quite a short time scale ω pt < 100, while the heat flux on the vacuum side becomes free streams that dont depend on the temperature gradient. On the basis of this result, we performed a hydrodynamic simulation using the CIP method with classical thermal conduction. The experimental ablation depth was replicated very well, showing that even fs pulse laser processing can be satisfactorily described by classical heat conduction.

• プラズマ・核融合学会の論文
• 2002-12-25

著者

• 矢部 孝

  東京工業大学工学部

• 中村 恭志

  東工大総理工

• 中村 恭志

  Tokyo Institute Of Technology

• 尾形 陽一

  Tokyo Institute Of Technology

• 矢部 孝

  Tokyo Institute of Technology

• 近藤 芳昭

  Tokyo Institute of Technology

• 前原 純

  Tokyo Institute of Technology

• 矢部 孝

  東工大機械物理

• 矢部 孝

  東工大・総理工・創造エネルギー

• 矢部 孝

  東京工業大学大学院 理工学研究科機械物理工学専攻

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