研究速報「リニアモータを用いた単結晶引上げ装置用アクティブ・パッシブ切換え型免震装置」-第2報:シミュレーション解析ー

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概要

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• 東京大学の論文

著者

• 藤田 隆史

  東京大学生産技術研究所

• 鎌田 崇義

  東京農工大

• 鎌田 崇義

  東京農工大学 共生科学技術研究院

• 藤田 隆史

  東大

• 古川 裕紀

  ヤクモ株式会社

• 晦日 英明

  東京農工大学大学院

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