レーザ誘起圧力波法によるサブミクロン分解能を持つ空間電荷測定装置
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概要
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The laser induced pressure pulse (LIPP) method has the advantage of higher resolution in the depth direction than other methods. However, in this method, it is demerits that induction noise in laser system is large and measurement signal is low reliability. Therefore, we have developed a new LIPP measurement system using pulse laser of low-density energy, shield technique and deconvolution processing. This system can observe the space charge profile with high reliability. Furthermore, we introduce the new LIPP system, which has sub-micron resolution of 0.6 microns.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-01-01
著者
-
前野 恭
独立行政法人情報通信研究機構
-
田中 康寛
武蔵工業大学
-
高田 達雄
武蔵工業大学
-
前野 恭
通信総合研究所
-
前野 恭
東京都市大学
-
前野 恭
通信総合研究所 電磁波計測部門 ライダーグループ
-
市川 英樹
武蔵工業大学
-
市川 英樹
武蔵工業大学 機械工学システム科 電子計測研究室
-
武藤 哲
武蔵工業大学 機械工学システム科 電子計測研究室
-
高田 達雄
東京都市大学 計測電機制御研究室
-
武藤 哲
武蔵工業大学
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