開放型電極を用いたPEA空間電荷分布測定装置
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概要
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The pulsed electro-acoustic (PEA) method has been widely used to observe space charge phenomena in dielectric materials. There have been awaited demands for monitoring space charge phenomena under electron beam or radioactive rays irradiations, or during plasma processing. Therefore we have developed a new PEA space charge measurement system that can observe space charge distributions under such severe conditions. This system uses an open upper electrode that can measure surface and internal space charge profiles at the same time. This paper introduces the Open-PEA system with experimental results obtained during electron irradiation in vacuum.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-03-01
著者
-
深尾 正
モーターソリューション(株)
-
前野 恭
独立行政法人情報通信研究機構
-
前野 恭
情報通信研究機構
-
田中 康寛
武蔵工業大学
-
高田 達雄
武蔵工業大学
-
今井 悟史
武蔵工業大学
-
深尾 正
武蔵工業大学機械システム工学科
-
前野 恭
東京都市大学
-
深尾 正
武蔵工業大学
-
高田 達雄
東京都市大学 計測電機制御研究室
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