31p-YL-2 酸素グロー放電プラズマのガス希釈効果(31pYL 放電,放電)
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 1996-03-15
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- 武蔵工業大学工学部電気電子工学科プラズマ研究室