F-5 精密温度制御チャンバの研究 : (第2報) 高応答性ヒータ,蓄熱体の組合せ検討
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概要
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In semiconductor fabrication and other fine-processing fields, measurements and precision processes have become common. This has generated a need for precision temperature-control systems that minimize temperature fluctuations, which can have a negative effect on measurement accuracy. This report investigates characteristics of a special responsive-heater and heat accumulators by analysis and experiments, and optimization of a combination of a special responsive-heater and accumulators. The results of this study were applied to a high-precision temperature-control system achieving an air-temperature variation within ±0.001℃.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2005-07-25
著者
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